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如何对集成电路超纯水设备的反渗透膜进行清洗?

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浏览:- 发布日期:2020-01-04 10:30:00【

如何对集成电路超纯水设备的反渗透膜进行清洗?

在集成电路超纯水设备中有很多的预处理措施,要处理的水都是经过预处理后才到达反渗透膜,但是在长时间使用后还是产生沉积和结垢,使膜孔堵塞,产水量下降,因此对污染膜进行定期的清洗是必要的。那么怎样对集成电路超纯水设备的反渗透膜进行清洗呢?

一、清洗原则:

了解当地水质特征,对污染物进行化学分析,通过结果分析,来选择清洗剂和清洗方法,为特定的给水条件下找出方法提供依据。

二、清洗条件:

1、产品水量比正常时下降5%-10%。

2、为保正产品水量,修正温度后的供水压力增加10%-15%。

3、透过集成电路超纯水设备水质电导率(含盐量增加)增加5%-10%。

4、多段RO系统,通过不同段的压降明显增加。

集成电路超纯水设备

三、清洗方法:

进行低压清洗;有必要的情况下进行机械清洗;再进行化学清洗;有条件的可以超声清洗;在线清洗是一种很好的方法,但价格比较贵。

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